运动台伺服控制

凭借 30 多年的经验，ZYGO 的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一，可连续运行，性能卓越。ZYGO 是位移测量干涉仪的市场领袖，为 OEM 提供关于闭环伺服控制的反馈。如今，半导体和平板制造以及生产过程控制工具都依靠 ZYGO 传感器来提供大批量制造环境所需的精度和可靠性。

我们的 ZMI™ 位移测量干涉仪用于测量这些系统中的掩模/光罩和晶片台的相对运动，精度达到纳米级。我们的模块化组件可进行配置，为您的特定应用提供所有必要的自由度，让您成功实现纳米级的运动控制。ZMI™ 系统可配置为以纳秒级的精度测量多达 64 个完全同步的轴的位移，从而实现对所有轴的完全同步测量。

作为您在运动控制方面的合作伙伴，ZYGO 将支持您不断改进系统，并满足您的下一代需求。