形貌和纹理

随着技术的不断进步，表面的制造过程被严格的控制，对表面纹理进行精确、准确的测量也变得更加重要。在粗糙度测量中，有 3 个重要的步骤：测量表面、处理数据和汇报结果。

表面测量

以足够的精度测量表面是确保粗糙度值准确的关键。ZYGO 的 三维光学轮廓仪系统通过 SmartSetup™ 技术和其他简单易用的功能，使精确采集数据的过程变得简单又快速，只需点击一个按钮，它就可以找到焦点、调整测量参数并进行测量。

数据分析

任何粗糙度测量，都需要对原始数据进行处理或滤波，才能将粗糙度与表面的波纹和面形分开。  ZYGO 的 Mx™ 软件可以通过 ISO 滤波功能轻松处理表面信息。

结果汇报

历史上 Ra（平均粗糙度）是用于描述表面粗糙度的首选结果，但它往往不能说明全部问题。根据表面的不同，许多其他结果可以更好地描述表面，如：

  • 偏斜度（Ssk）：表面是以波峰还是波谷为主？
  • Sdr：扩展表面积比，即考虑形貌后的表面积与投影面积之比
  • Sdq：局部坡度或纹理变化的速度
  • Sal 和 Str：描述一个表面是随机的还是周期性/定向的
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