Verifire Asphere+
高性能、灵活和精确的非球面计量学
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非球面光学器件在成像、传感和激光系统的设计和实施方面有很大的优势，这些行业包括国防和航空航天、半导体曝光和检查系统以及医疗成像系统。 非球面光学器件在成像、传感和激光系统的设计和实施方面有很大的优势，这些行业包括国防和航空航天、半导体曝光和检查系统以及医疗成像系统。 Verifire Asphere+ (VFA+)利用Fizeau干涉仪的优势，为轴对称非球面提供独特的精确、高分辨率、快速和全孔径计量组合。 |
 360° View |
VFA+提供了一个灵活的计量平台，只需改变透射球体就能测量一系列轴对称非球体。VFA+配备了一个可选的二级平台，支持计算机生成全息图（CGH），将非球面形状的能力扩展到非对称自由曲面和离轴非球面光学。
新产品! 注重提高用户体验，您可以轻松设置新的测量，浏览测量数据和结果，并诊断生产问题。Mx™软件能够实现高效的研发和原型设计阶段，并通过简单的一键设置、对准和测量功能改善生产应用。
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Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。
主要特点
- 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 TTV 和楔角
- 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
- 广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，可提供最佳的 ITF
- 1.2k x 1.2k（包括分立变焦，可实现高达 3 倍的光学变焦（适用于进口干涉仪））
- 2.3k x 2.3k
- 3.4k x 3.4k
- 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
- ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
- Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置，可消除靶心并降低相干噪声
Laser Interferometers
Laser Interferometers
Qualifire™
Verifire Asphere+ Specs
DynaFiz®
Verifire™ HD
Verifire™ HDX
Verifire™ MST Plus
DynaFiz®
MetroCell™
Verifire™
Verifire™ HD
Verifire™ MST+
Verifire™ HD-MST
Verifire™ HDX-MST
Verifire™ MST IR
Verifire™ VTS
Verifire™ XL
Verifire™ HDX
Verifire™ IR 3390
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Measurement of Aspheric Surfaces
Determining Asphere Measurability
Grazing Incidence Testing
Interferogram Scale Factor
Silver Overcoat Spray
Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
Finite Conjugate Lens Testing
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
A review of selected topics in interferometric optical metrology
Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
标题
文件
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
Document技术论文
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