ZeGage™ Pro
可直接用于生产的三维光学轮廓仪系统
ZeGage™ Pro 和 ZeGage™ Pro HR 三维光学轮廓仪可对多种类型表面的微米和纳米级特征进行非接触式测量和表征，实现制造环境中的质量控制和过程监控。
我们行业领先的 ZeGage Pro 系列由于其卓越的性能、易用性、灵活性和精度为台式工业非接触表面轮廓仪设立了行业标准。ZeGage Pro 在 ZYGO 专有 CSI 技术的基础上，采用一系列创新的技术，可实现精确、可靠、简单和省心的表面测量。
独有的功能包括 SureScan™ 抗振计量技术、零件查找和智能设置，可简化零件设置并优化测量。 快速、轻松地测量各种表面和部件从未像现在这样简单。
阅读更多内容，了解 ZeGage™ Pro 系统的强大功能、多用途性和价值如何使您受益。
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强大的性能
- 专有的非接触式测量技术通过 SureScan™ 技术得到了增强，对振动不敏感，可放置在工厂内的任何地方。
- 具有纳米级精度的定量表面计量技术提供了卓越的计量能力。
- 190 万像素的高分辨率图像传感器可在数秒内快速测量表面区域，提供出色的表面细节，实现可视化。
- 全自动的测量序列和现场拼接可以实现高分辨率的大面积检测。（需要选配电动平台。）
多功能性
- 可测量各种表面材料和参数，包括表面纹理、形貌、台阶高度等的二维和三维分析。
- 附带的 Mx 软件为表面数据可视化、分析和报告提供了全面的工具。
- 可使用配件扩大测量范围，这些配件包括物镜转台、手动和电动样品台，可选配的薄膜分析软件，以及使用 Cognex VisionPro® 进行二维图像分析分析的可选软件模块。
生产力和性价比
- 智能设置技术通过自动寻找零件表面干涉条纹、设置光强和配置扫描长度，减少了培训时间，并缩短了零件更换时间。 智能设置通常能够实现在样品被置于物镜下后的 1 分钟内生成第一张数据图。
- 与其他系统（包括机械接触式触针轮廓仪）相比，性价比很高。
- 非接触方式意味着不用担心耗材更换成本。
- 紧凑、抗振的 SureScan™ 技术，可以轻松地集成到工厂内的任何地方。
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A new class of wide-field objectives for 3D interference microscopy
Accurate, repetitive, linear motion from biased piezoelectric actuators
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Angle-resolved three-dimensional analysis of surface films by coherence scanning interferometry
Applications of model-based transparent surface films analysis using coherence scanning interferometry
Calibration of the amplification coefficient in interference microscopy by means of a wavelength standard
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Angle-resolved three-dimensional analysis of surface films by coherence scanning interferometry
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Applications of model-based transparent surface films analysis using coherence scanning interferometry
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Calibration of the amplification coefficient in interference microscopy by means of a wavelength standard
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Characterization of materials and film stacks for accurate surface topography measurement using a white-light optical profiler
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