薄玻璃

创新技术可以同时对薄型光学器件的正面和背面进行形状测量。 

在对越来越小的消费产品和半导体设备需求的推动下，制造商需要薄型平面光学器件才能满足一系列应用需求。

这就要求材料和光学器件制造商保证玻璃的平面度，无材料变形，因为材料变形会导致畸变，并影响最终使用功能。

测量薄型平面平行光学器件的表面在历史上一直是个难题，因为来自前后表面的多次反射会返回到干涉仪。

这就导致了复杂的重叠干涉条纹图案，使得传统的相移干涉测量（PSI）技术很难甚至根本不可能提供可靠的测量结果。

为了克服 PSI 测量薄型平面平行光学元件的局限性，一些技术已经被开发出来，例如在后表面镀膜以减少或消除二次反射。在背面涂上黑漆、用深色的记号笔覆盖或涂抹凡士林需要时间，给计量过程增加了不必要的步骤，并且在涂抹或去除涂层时有损坏或使薄型元件变形的风险。

ZYGO 提供了一个更先进的解决方案，即傅立叶变换相移干涉测量法（FTPSI）。它可以方便地表征薄型平行玻璃的前表面和后表面、光学和物理厚度变化以及材料的均匀性。通过 FTPSI，即使是厚度小于一毫米的光学元件，它也可以在一次测量中区分前后表面，并对两者的质量进行表征。

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