Qualifire™

新的主要功能:

• 环纹抑制功能 – 安装飞点模块的 Qualifire 系统具有其他降噪系统所不具备的可信度。 通过消除腔体中相干空间噪点和恼人的相干牛眼纹，飞点模块可为高精度测量提供高信噪比。 配备飞点模块的 Qualifire 系统集成了 Zygo 专利的RoF（Ring of Fire）技术和环纹抑制功能 （CARS） 技术的精华，形成了一个崭新的降噪解决方案。
  
  
• 平面腔自动对焦 – 市场上分辨率高的仪器，都必须实现对被测表面的精确对焦。飞点模块允许采用基于相位的自动对焦方法。这意味着可以在完美的镜面上设置非常精确的焦点，而无需借助手动或基于强度的焦点调整所需的小工具，比如锋利的纸片边缘、靶标、遮罩等。概括地说，无需操作员干预，即可实现精确对焦。
  
  
• 稳定变焦 – 这种新颖的变焦方法提供了稳定的光学对准，从 1 倍到 3 倍变焦，焦点和图像中心都不会发生偏移。由于光学系统在所有变焦情况下都受到衍射限制，因此稳定的变焦使得仪器传递函数（ITF）也得到极大改善，从而更容易量化中高频率特征。 当系统放大倍率改变时，图像焦点和中心不会发生偏移，因此在所有变焦情况下都能保证系统误差去除，而不损失保真度。
  
  
• 智能附件 – 使用 Zygo 智能附件可实现智能设置功能。智能设置可根据安装的附件自动设置仪器的横向分辨率，对于智能球面参考镜TS，还可自动设置工件的曲率半径。并且，装载的出厂校准系统误差图会自动拟合，并从测量数据中减去系统误差，从而以更短的设置时间实现优秀的计量能力。