楔角和棱镜角
望远镜、相机镜头、激光系统等光学系统的性能取决于系统内光学元件的质量。许多平面光学元件从侧面看是完全平行的,然而通常在两侧之间有一些楔角。 在极其精密的系统中,了解窗片的楔形程度是至关重要的。
非接触式测量方法
测量楔角或平行度有多种非接触式方法。 自准直仪是光学行业中常用的一种装置。 当光通过光楔时,光束会偏转一定的角度 δ,这个角度由玻璃的折射率 n 和玻璃的机械楔角 α 来定义。其计算公式为:δ = 2(n-1) · α。
虽然这种方法很有用,但结果的准确性和可重复性取决于是否有熟练的操作员。 此外,还需要有一个平坦度达到 λ/4 或更好的目标镜来确保返回的图像充分聚焦。 它除了具有干涉仪所具有的所有测量功能外,还可以在一定条件下测量窗片的楔角。
用干涉测量法测量楔角
测量平面光学元器件楔角的设置如图所示。 透射平面镜(TF)和参考平面镜(RF)组成一个腔体,中间是楔形光学器件。 为了减少环境误差,所有元件之间的距离应尽可能小。
结论
对于含有窗片的光学系统,测量楔角可以减少误差,提高效率。 自准直仪在测量窗口的楔角时很有用,但其结果远不如干涉仪精确,并且还取决于操作员的技能。 因此,ZYGO 推荐使用干涉测量法来测量窗片的楔角。