Verifire™ MST
多表面同时测试干涉仪
化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案，Verifire™ MST 采用专有的波长调制技术，可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息，如总厚度变化（TTV）、楔角甚至是材料不均匀性。
Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量，可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。
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Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。
主要特点
- 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 TTV 和楔角
- 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
- 广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，可提供最佳的 ITF
- 1.2k x 1.2k（包括分立变焦，可实现高达 3 倍的光学变焦（适用于进口干涉仪））
- 2.3k x 2.3k
- 3.4k x 3.4k
- 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
- ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
- Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置，可消除靶心并降低相干噪声
Laser Interferometers
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Verifire™ MST Plus
Verifire™ MST+
Verifire™ HD-MST
Verifire™ HDX-MST
Verifire™ MST IR
Laser Interferometer Accessory Guide
Interactive Transmission Sphere Selector
Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
Horizontal Radius Metrology Specs
Transmission Sphere Selection Guide
Typical Interferometer Setups Guide
Transmission Spheres Specs
Laser Interferometers
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Measurement of Aspheric Surfaces
Determining Asphere Measurability
Grazing Incidence Testing
Interferogram Scale Factor
Silver Overcoat Spray
Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
Finite Conjugate Lens Testing
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
A review of selected topics in interferometric optical metrology
Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
Document技术论文
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