纳米位置传感器
ZYGO 纳米位置传感器被广泛应用于闭环运动控制系统，如光刻机和半导体检测工具的工作台，以及可变形光学系统。30 多年来，我们一直在位移和位置传感器领域开拓创新，并与需要最高精度和可靠性的客户紧密合作。我们的应用专家团队可以随时帮助您解决您的位置计量挑战。
应用
OEM 服务
30 多年来，ZYGO 的位置测量传感器一直被用于 OEM 应用。我们明白，您需要的是一个值得信赖的合作伙伴，为您提供操作可靠、质量稳定的创新位置计量解决方案，并要能按时交货。
工作台伺服控制
凭借 30 多年的经验，ZYGO 的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一，可连续运行，性能卓越。ZYGO 是位移传感器领域的市场领袖，为 OEM 提供关于闭环伺服控制的反馈。
自适应光学器件控制
通过了解自适应光学器件的实际变形情况，实现对其更精确的控制！ZPS™ 提供了多达 64 个平行排列的小尺寸传感器，可直接测量反射镜或其他光学器件的前后表面，使您能够重建表面变形情况，获得最佳的像差校正。