自适应光学器件控制

通过了解自适应光学器件的实际变形情况，实现对其更精确的控制！

镜面面形轮廓会因热负荷、执行器漂移或机械蠕变而意外改变。某些自适应光学应用无法在不中断操作或不影响光学系统性能的情况下监控光学器件的性能。其他可能的解决方案要么不切实际，要么测量速度不够快，无法达到效果。选择 ZYGO ZPS™ 绝对位置测量系统。

ZPS™ 系统提供了多达 64 个平行排列的小尺寸传感器，可直接测量反射镜或其他光学器件的前后表面，使您能够重建表面变形情况，获得最佳的像差校正。这就实现了对光学器件的实时原位监测，这与闭环控制一起可以保持光学器件的形状或使其进行特定的变形。

ZPS 系统的高度可重复的绝对位置测量意味着您能够存储已知的良好变形状态，并动态地驱动到这些状态，从而快速调整光学配置，避免了通常采用的缓慢迭代过程。