绝对位置传感器

在多达 64 个同步通道上进行高精度、非接触式绝对位置测量

ZYGO 的 ZPS™ 系统使用超小型光学传感器测量绝对位置，这些传感器可轻松集成到可变形反射镜和镜头定位等高精度应用中。

光学传感器系统可在 1.2mm 范围内提供多达 64 个同步通道的高精度、非接触式绝对位置测量。测量分辨率为 0.01 nm，测量稳定性 ≤ 1 nm/天。

光学传感器不会产生热量，对电磁干扰不敏感，因此 ZPS 系统是可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑的传感器通过光缆连接到紧凑的集中式机柜上。ZYGO 免费提供的 ZPS™ 软件在 ZPS 系统和计算机之间提供了即插即用的连接，允许您能够快速、轻松地启动并运行您的系统。