位移测量干涉仪

ZYGO 位置传感器被广泛应用于闭环运动控制系统，主要用于光刻机和检测工具的工作台系统。30 多年来，我们一直在位移和位置传感器领域开拓创新，并与需要最高精度和可靠性的客户紧密合作。我们的应用专家团队可以随时帮助您解决您的位置计量挑战。

激光器

ZMI™ 激光器可提供高度稳定的双频输出，为高精度的位置计量奠定了坚实的基础。这些激光器基于强大的氦氖技术，具有很高的可靠性，被用作计量仪器的标准配置。

干涉仪

ZYGO 的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。

测量电子装置

测量电子装置利用由激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。我们荣获专利的循环误差校正选项，可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差。