尺寸分析

ZYGO 可以利用三维计量结果数据实现亚像素二维计量。用户可以选择使用高度或强度数据来进行这些横向测量。线和空间宽度、孔的尺寸、特征与特征之间的关系等参数都可以得到测量。

ZYGO 的二维计量解决方案不仅可用于横向尺寸，还支持生产和自动化环境。二维计量可用于识别零件对准特征，确保在生产相关测量中获得可靠和可重复的计量结果。

线宽

随着晶圆、光学光刻和半导体行业技术和精度的进步，对可靠计量解决方案的要求也越来越高。这些行业的一个共同需求是线宽测量。ZYGO 二维计量解决方案为这种测量应用提供了一种高度可重复的非接触式方法。这些二维线宽测量使那些对产品质量和可靠性要求越来越高的行业能够进行非接触式的高速过程控制。

集成有自动化和图案匹配功能的 Mx

Mx 软件与 Cognex® VisionPro™ 软件套件相结合，使用户可以使用样品上的已知特征来对准测量。这种自动测量对准使用户能够在不同的样品和不同的操作员之间获得可重复的结果。VisionPro™ 软件套件有几个功能可以帮助实现特定测量的自动化。

VisionPro™ 软件可用于根据所发现的一个或多个训练过的特征的位置来执行图案的原点偏移和旋转，从而对准夹具中的一组零件。VisionPro™ 软件套件还能够根据特定特征自动对中测量。最后，VisionPro™ 可以用来遮罩某个特征，并忽略测量视野中的其他特征。

几何尺寸和公差

利用二维计量数据可以获得几何尺寸和公差信息。  使用 ZYGO 二维计量数据可以获得基本的横向尺寸、真实位置和同心度等 GD&T 特征。

一般需要多个系统和多次测量才能获得的结果，在 ZYGO 系统上只需进行一次二维测量就可以获得。

VisionPro 和 Cognex 是 Cognex Corporation 公司的商标或注册商标。