自适应光学器件
同步加速器变形反射镜
在同步加速器应用中，变形反射镜聚焦掠入射的 X 射线束，因此是较长的窄镜。
ZPS™ 传感器可沿镜面长度部署，以测量镜面的曲率或复杂面形轮廓。在硬 X 射线光束线的情况下，ZPS 系统可以直接测量镜面与光束相互作用的部分。
ZPS 传感器虽然暴露在 X 射线辐射下，但至今没有出现性能下降的迹象。ZYGO 可以提供带有 Kapton 护套的传感器，用于抵抗 X 射线，还可提供适用于真空度低至 10-9 托（10-7 帕）环境的传感器。
| ZPS™ 的关键组件 | |||
| 项目 | 数量 | 描述 | 部件号 |
| 1 | 1 | ZPS 外壳，30 通道 | 8060-0150-03 |
| 2 | 28 | ZPS 传感器，Kapton 护套，3m | 8060-0303-42 |
| 3 | 2 | MT Elite 分支电缆，5m | 8060-0221-02 |
| 4 | 2 | MT Elite 跳线，5m | 8060-0220-01 |
| 5 | 2 | MPO 配套套管 | 8060-0301-01 |
| 6 | 28 | FC/APC 配套套管 | 8060-0302-01 |
ZPS™ 的可选组件 |
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| 项目 | 数量 | 描述 | 部件号 |
| 1 | 1 | 带 SRIO 接口的 ZPS 计算机 | 8060-0180-01 |
| 2 | 1 | SRIO 电缆，电气 | 1115-800-069 |
| 其他必要项目 | |||
| 项目 | 描述 | 推荐供应商 | |
| 1 | 压电变形反射镜 | JTEC Corp, Thales SESO | |
| 2 | 真空室 | TOYAMA、FMB Berlin、Axilon | |
| 3 | 真空馈通 | Buffalo Conax | |