三维光学轮廓仪
ZYGO 的三维光学轮廓仪可以精确、定量、符合 ISO 标准、非接触式地测量表面并表征微米和纳米级的表面特征，仅在几秒钟内就可以捕获多达 200 万个数据点。应用范围包括对从超光滑的亚埃光学表面到极度粗糙和漫反射的 3D 打印表面等样品进行形貌、波纹、粗糙度和微观结构表征。
选择哪种光学轮廓仪系统取决于您的应用需求，如速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性等。
特殊配置
Nexview™ 650
Nexview™650是一款大范围非接触式表面检测和计量的工具，其计量系统可对注塑模具、PCB、玻璃面板进行精确的自动测量，测量范围可达 650 x 650 mm，可提供亚纳米垂直精度和亚微米横向精度的2D和3D测量。
OEM 系统
ZYGO 在为 OEM 制造商和系统集成商提供适用于最苛刻应用的精确、高速三维光学轮廓仪传感器方面有着良好的声誉。这些可配置的系统非常适合集成到自动化生产系统中，用于在线测量和过程控制。
工业机箱
用于 ZYGO 三维光学轮廓仪的 Guardian™ 工业机箱经久耐用、符合人体工学且结构紧凑，可在恶劣环境下提供保护，将计量核心设备与周围环境隔离开来，同时保持性能和功能的完整性。
ZYGO 三维光学轮廓仪的主要特点……
SmartSetup™ 技术
独有的 SmartSetup™ 技术通过自动完成设置和配置任务，帮助您更快地从 ZYGO 光学轮廓仪中获得测量数据。SmartSetup™ 可定位样品表面，设置光级和扫描长度，并进行测量，这些通常在 1 分钟内就可完成。
SureScan™ 技术
抗振的 SureScan™ 技术结合了创新的硬件和软件，使 ZeGage™ 三维光学轮廓仪能够在制造工厂内的任何地方（甚至在车间里）进行高精度的测量，而不需要隔振系统。
光学轮廓仪物镜
轮廓仪的物镜决定了轮廓仪的放大倍数、工作距离、倾斜能力和视野范围（但不决定 Z 高度分辨率，因为 Z 高度分辨率是不变的）。ZYGO 为其光学轮廓仪提供的物镜种类之多是业内同行无法比拟的。
Mx™ Software
ZYGO's Mx™ software powers complete metrology system control & data analysis, including interactive 3D maps, quantitative topography data, intuitive navigation, & built-in SPC with statistics, control charting, and pass/fail limits.