薄膜和镀膜的光学测量

对厚膜和薄膜的形貌和厚度以及基底的形貌进行精确表征

测量显示了设备上部分透明薄膜的覆盖层。它显示了薄膜表面和基底表面的形貌图。

在许多应用中，薄膜和涂层的沉积和控制对于实现消费电子、半导体、光学器件等设备的功能或效率至关重要。这些先进的设备往往需要精确地表征薄膜的形貌和层厚，才能确保高质量和高性能。

我们的多功能和精确的三维计量仪器和传感器基于非破坏性的非接触式区域光学技术（CSI - 相干扫描干涉法），可以在微米级到毫米级的区域内测量各种不同形貌和 50 纳米到 150 微米层厚的透明表面。

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