计算机生成的全息图 (CGH)
计算机生成的全息图，是一种神奇的波前“转换器”，可以将干涉仪的标准测试波前，转化成为非球面测试波前，从而让普通激光干涉仪，能用于各类非球面面形测量。
金刚石车削和小工具确定性抛光的进展，极大地提高了光学制造能力，几乎可以生产任何表面形状。设计师们利用这些能力，越来越多地将非球面光学器件设计到成像、传感和激光系统中，以提高性能，减少光学系统的尺寸和重量。
然而，生产高质量的非球面光学器件所需要的不仅仅是抛光设备，还需要计量学来指导抛光和表面材料的去除，使之趋向于与设计紧密匹配的理想表面图形。
CGH（计算机生成全息图）计算机生成的全息图，是一种神奇的波前“转换器”，可以将干涉仪的标准测试波前，转化成为非球面测试波前，从而让普通激光干涉仪，能用于各类非球面面形测量。
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Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。
主要特点
- 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 TTV 和楔角
- 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
- 广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，可提供最佳的 ITF
- 1.2k x 1.2k（包括分立变焦，可实现高达 3 倍的光学变焦（适用于进口干涉仪））
- 2.3k x 2.3k
- 3.4k x 3.4k
- 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
- ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
- Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置，可消除靶心并降低相干噪声
Laser Interferometers
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Verifire™ MST Plus
Verifire™ MST+
Verifire™ HD-MST
Verifire™ HDX-MST
Verifire™ MST IR
Laser Interferometer Accessory Guide
Interactive Transmission Sphere Selector
Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
Horizontal Radius Metrology Specs
Transmission Sphere Selection Guide
Typical Interferometer Setups Guide
Transmission Spheres Specs
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Measurement of Aspheric Surfaces
Determining Asphere Measurability
Grazing Incidence Testing
Interferogram Scale Factor
Silver Overcoat Spray
Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
Finite Conjugate Lens Testing
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
A review of selected topics in interferometric optical metrology
Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
Document技术论文
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