用于激光干涉仪的 Mx™软件

ZYGO 的 Mx™ 软件拥有完整的系统控制和数据分析功能，包括交互式三维图、定量相位数据、直观的导航以及带有统计功能、控制图和通过/失败限制的内置 SPC。

世界一流的分析和控制软件

Mx 是备受信赖的 MetroPro 测量和分析套件的后继者。Mx 延续了其前身在可靠计量、高度可定制和生产自动化方面的优势。其基于工作流程的设计可指导用户完成从设置到分析和生成报告的计量过程。

交互式图显示了整个区域的二维或三维数据，以及轮廓剖面线、Zernike 分析、斜率分析和 PSD 图。得益于内置 SPC、合格/不合格指示、数据报告和运行图，生产质量分析现在变得异常简单。

Mx 亮点

强大的测量功能 – ZYGO 专有的 QPSI™ 和 DynaPhase® 测量采集技术消除了恶劣的测量环境中振动的影响。这些专利技术最近被应用到 Verifire MST 上，它们让您始终可以获得可靠的数据。

支持您的测试设置 – 支持我们《典型干涉仪设置指南》中的每一项测试，包括从双通角锥棱镜到掠入射等测试设置。让您对您的测试设置、干涉测量比例因子和结果充满信心。

灵活的分析 – Mx 提供了强大的拟合工具（包括 Zernike、环域 Zernike 和Legendre多项式）以及斜率和PSD分析，让您能够根据图纸生产零件，并深入了解您的工艺流程。

内置的 SPC 分析工具可跟踪结果，监控合格/不合格标准，并跟踪流程统计数据。通过电子报告和清晰的视觉指示，您可以快速从生产中移除零件，并且不会遗漏任何测试报告。