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PSI 测量（可以看到振动导致的条纹透印）和使用 QPSI™ 技术测量的相同表面（无噪声透印）的动画对比。
光学元件的表面形貌和平面度测量，以及光学系统和组件（如窗口、反射镜、透镜、棱镜）的波前，甚至精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。
标准配置包括 QPSI 抗振采集技术、功能齐全、强大、易于使用的 Mx™ 测量软件、分析和自动化功能以及享 3 年质保的 ZYGO HeNe 激光源。
主要特点
- ZYGO 制造的 HeNe 激光源
- 比市面上的激光器寿命更长，寿命长达 6 万小时，享 3 年质保！
- 更高的功率，改善了抗振性能，适合微光应用
- 波长稳定在 0.0001 nm
- ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量
- 连续可变的 1X-5X 光学变焦
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Measurement of Aspheric Surfaces
Determining Asphere Measurability
Grazing Incidence Testing
Interferogram Scale Factor
Silver Overcoat Spray
Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
Finite Conjugate Lens Testing
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
A review of selected topics in interferometric optical metrology
Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
Document技术论文
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