(2024 年 1 月 30 日,美国康涅狄格州米德尔菲尔德) 阿美特克公司(纽约证券交易所代码:AME)旗下的事业部 Zygo 宣布推出全新的激光干涉仪 Qualifire。Qualifire 是一系列高端干涉仪解决方案中的一员。 该仪器旨在支持和实现半导体、光刻、空间成像系统、尖端消费电子产品和国防等行业苛刻的计量应用。Qualifire 将于 1 月 30 日在加利福尼亚州旧金山举行的 SPIE Photonics West 展览会上首次亮相。这款激光干涉仪在不牺牲性能的前提下,在小巧轻便的机身中集成了显著的功能增强和新功能。

Zygo 激光干涉仪产品经理 Erin McDonnell 表示:"我们很高兴地向市场推出全新激光干涉仪 Qualifire。它改进了人体工程学设计,使用方便,而且比 Zygo 的许多其他激光干涉仪更加便携。激光干涉仪能够提供纳米级精度,因此使用激光干涉仪进行测量往往对噪声、灰尘和其他伪影非常敏感。Qualifire 的一个可选模块Flying Spot (飞点模块)能够有效地减少甚至消除这些伪影,从而提高测量的可靠性和可重复性。飞点模块结合了 Zygo 的两项优异的伪影减少技术: RoF技术(Ring of Fire)和环纹抑制技术(CARs)。 飞点模块在要求高精度的应用中尤为重要,包括科学研究和先进制造工艺中。

Qualifire 为 Zygo 激光干涉仪产品线带来了这些崭新的功能和改进:

  • 智能附件接口—干涉仪可以自动识别安装的“智能附件”,并自动加载应用系统误差文件以及进行横向校准。

  • 体积小、重量轻 —Qualifire 系列中最小的型号重约 45 磅(20.4 千克)。 它是真正的便携式设备,尤其适用于经常移动或调整干涉仪的复杂、精密应用需求中。

  • 集成式移相器(PMR)—PMR 是在被测元件和参考光学元件之间调制干涉条纹所必需的,最终形成定量的面型图。PMR集成式设计可提供: :

    • 整体机械稳定性和校准

    • 降低损坏和未对准的风险

    • 确保性能一致,减少重新校准的需要

  • 优化的用户体验 —更易于使用,有优化的电源按钮和机械安装支脚。更大的控制旋钮可实现更精确的调整,这对于对准和校准都至关重要。 集成式的手柄确保操作安全可靠。

  • 更便利的维修 —密封的光学系统和集成的电子元件使各种组件的更换变得简单,而且光学元件不会暴露在污染物/灰尘环境中。

  • 飞点模块—用于减少伪影的可选模块,包括自动对焦功能。

  • 稳定变焦 —提供了一种崭新的变焦方法,使得在所有放大倍率下均能实现良好的图像配准和衍射限制下的图像采样。

计量部门 DVP的Kurt Redlitz表示:"Qualifire 保持了 Zygo 在计量领域的高标准,同时提供了高级别的精度,并优化了用户体验。它改进了人体工程学设计,在不牺牲性能的前提下提高了操作效率和灵活性。Qualifire 是一款更强大、更可靠、更人性化的仪器设备,可应对各种精度要求非常高的应用和环境。