下载并学习使用我们的免费傅立叶建模演示器。
许多 ZYGO 计量仪器依靠干涉仪与成像系统相结合来测量表面形状、波纹度和粗糙度。虽然这些仪器有先进的软件为您解释数据,但理解成像过程如何从根本上影响干涉测量是有帮助的。这种理解有助于优化测量设置,例如,在给定表面斜率的情况下为 三维光学轮廓仪选择合适的显微镜物镜,并为给定的数值孔径选择最小的可检测特征间距。
ZYGO 已经开发了一个交互式演示器,它使用一个简单的 Excel 工作表,利用标准的电子表格功能来模拟高度简化的干涉仪的响应。虽然该演示器并不能取代精心的应用开发,也不能用先进的硬件和软件完美地预测实际测量中的情况,但它是一种生动有趣且易于使用的用于学习表面形貌干涉测量基本原理的方法。
- 用于表面形貌干涉测量的基本傅立叶光学模型(交互式演示器,Excel 文档)
- 上述交互式演示器的“操作方法”视频
- 交互式演示器理论的视频教程
(摘自 2020 年 SPIE 光学与光子学数字论坛) - 干涉显微镜仪器响应的傅立叶光学建模 (技术论文)
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