特殊应用 Verifire™ MST Verifire™ XL 大口径激光干涉仪 波长拓展激光干涉仪 产品升级 典型干涉仪配置 MetroPro®软件介绍 抗振型激光干涉仪
3D表面轮廓仪 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView 9000™ New! Nexview™ NX2 New! Nomad™ 3D表面轮廓仪主要应用
NewView™ 9000 Series 3D光学轮廓仪
主要特点:
• 高灵敏度1.9 MP传感器
• 快速非接触式测量
• 卓越的可视化3D表面
• 亚埃级精度
• 超精密&计量能力
• 增强光学成像
• 自动零件定位
ZYGO相干扫描干涉技术(CSI)是系统的核心技术，在所有放大倍数下实现亚纳米的精度，并且能够快速准确的测试各种样品表面，为客户提供高投资回报率的体验。
性能，价值和多样性
灵活性是ZYGO NewView产品的标志。NewView 9000光学轮廓仪提供多样化的应用，包括平面度，粗糙度和波纹度，薄膜，台阶高度和更多应用。所有NewView 9000轮廓仪都配备一个3位变焦塔台，可以为系统自动切换不同倍率的分立变焦。样品台可选配手动型或全自动编码型。
所有NewView 9000轮廓仪系统都提供高精度测量，易于使用和快速测量，价格吸引人，在通用性和应用价值方面使其成为3D光学轮廓仪的理想选择。
以下差异化特性实现用户计量更好、更快和更可靠:
• 大面积1.9 MP传感器：高灵敏度，在单次测量中获取更多的信息
• 高速测量：只需几秒时间，优化的测试能力和程序控制
• 自动零件聚焦和定位：减少操作员测试差异，提高培训和测试效率
• 重复性特征：优异的测量精度和可重复性，为高要求的生产应用提供服务
• 抗震测量： SureScan™抗震技术和集成式抗震平台使系统在震动环境下也可实现高精度计量
• SmartPSI™技术：对超光滑表面进行快速分析测量
• 2D和3D的相关性：测量结果遵循ISO 25178和ISO 4287标准。
• Mx™软件：实现仪器控制、分析和测量自动化
先进的分析&控制软件
NewView 9000轮廓仪使用ZYGO Mx™软件，支持完整系统控制和数据分析，包括丰富的交互式3D绘图，量化的形貌信息，直观的测量导航以及内置的SPC统计，质量控制图，通过/失败限制设置。
• 交互式3D绘图 – 缩放，平移，旋转，并实时更新结果。
• 灵活分析 – 广泛的定量分析结果，包括数据视图和过滤器。
• 直观的用户界面 – 易于学习和使用的流程界面设计。
• 内置SPC分析工具 – 跟踪结果，监控合格/不合格的标准，跟踪处理数据。
还有满足特殊应用需求的应用程序模块，如透明薄膜的样品测量，2D图像分析等。
灵活的配置
开放的工作区域使视野更清晰操作更便捷
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