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激光干涉仪 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  New! 干涉仪附件

特殊应用 Verifire™ MST Verifire™ XL 大口径激光干涉仪 波长拓展激光干涉仪 产品升级 典型干涉仪配置 MetroPro®软件介绍 抗振型激光干涉仪

3D表面轮廓仪 ZeGage™ ZeGage™ Plus New! NewView 8000™ Nexview™ Nomad™ 3D表面轮廓仪主要应用


3D表面轮廓仪 选择适合您的系统

所有的3D表面轮廓仪都可以为您提供高速、非接触、三维定量的表面形貌测量。系统配置ZYGO综合测量软件包--MetroPro®可以提供三维和两维表面特性、实时显示以及应用处理选项。MetroPro®所提供的友好直观的人机交互界面包括自动控制、密码保护、统计数据库、可编程脚本、用户自定义界面、自行设置合格/不合格标准等。


ZeGage Optical Surface Profiler ZeGage Plus Optical Surface Profiler NewView 8000 Optical Surface Profiler Nexview Optical Surface Profiler Nomad Portable Optical Surface Profiler
型號: ZeGage
表面轮廓仪
 
ZeGage Plus
表面轮廓仪
 
NewView 8000
表面轮廓仪
 
Nexview
表面轮廓仪
 
Nomad
Portable
表面轮廓仪
核心技術: CSI* CSI & PSI* CSI*
STR: 3.5 nm 0.15 nm 0.12 nm 0.08 nm 0.12 nm
垂直扫描速率: ≤ 35 μm/s ≤ 73 μm/s ≤ 96 μm/s ≤ 15 μm/s
最大台阶高度: ≤ 20 mm ≤ 95 µm
系统变焦: 固定 自动 固定
Z 轴调整: 自动 机动化
X/Y 方向调整: 手动或电动(可选) 自动 不适用
视场: ≤ 9 mm ≤ 16 mm ≤ 12 mm
Software: Mx
Notes:  STR (Surface Topography Repeatability) is a quantification of instrument capability, per ISO 25178-604.  STR can be improved by filtering and/or measurement averaging.
* CSI = 相干扫面干涉技术
   PSI = 相移干涉技术

3D表面轮廓仪主要应用

• 测量动态MEMS设备

• 薄膜分析应用

• 测量亚纳米表面形貌

• 机械加工中的应用


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