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激光干涉仪 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  New! 干涉仪附件

特殊应用 Verifire™ MST Verifire™ XL 大口径激光干涉仪 波长拓展激光干涉仪 产品升级 典型干涉仪配置 MetroPro®软件介绍 抗振型激光干涉仪

3D表面轮廓仪 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView 9000™  New! Nexview™ NX2  New! Nomad™ 3D表面轮廓仪主要应用


3D光学轮廓仪

ZYGO的3D光学轮廓仪能够实现精确、定量、符合ISO标准的非接触式表面测量,能表征微观和纳米级的表面特性,短短几秒内能获取二百万个数据点信息。选择合适的光学轮廓仪系统取决于您的应用需求,包括速度、精度、纵向范围、自动化和灵活性。

我们的3D光学轮廓仪凭借其先进的、专利的、差异化的技术使其成为集快速、高精度、高分辨率、和应用多样性于一体的计量设备。

ZYGO的光学轮廓仪多种配置可选,从台式机到集成化的全自动机型。那些大量安装于研发和标准实验室的,用于工业过程控制工作站以及OEM计量方案的ZYGO光学轮廓仪已经证明了ZYGO的实力。

针对不同的测试需求,我们的系统对各种材质表面的结构和纹理提供优异的测试,并且提供数以百计的可报告参数,包括区域表面粗糙度,符合ISO 25178标准以及2D轮廓标准ISO 4287/4288。

如何比较ZYGO的技术? 关键优势是什么?

我们的仪器基于核心技术具有以下几个优点:系统级的特征项和可选项,软件功能强大等等。为简单起见,我们将CSI技术和两种常见的替代光学技术(共聚焦,自动变焦)做比较,下面列出了一些关键属性和优势。

• 更快的速度

• 卓越的Z轴分辨率(与放大倍数无关)

• 多种放大倍数/视场范围

• 具备测量超光滑以及粗糙表面的能力

主要的市场和应用领域是什么?

• 汽车&精密机械加工

• 微加工&纳米技术

• 消费电子产品&显示器

• 光学&光电行业

• 航空航天&国防

 

 ZeGage
ZeGage Optical Profiler
标准性能
紧凑型设计,
性能稳定
操作简便,入门级台式系统
在车间准确测试
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 NewView
NewView 9000 Optical Profiler
高性能
性能、灵活性、
价值
适应广泛的应用需求
灵活配置满足您的需求
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 Nexview
Nexview NX2 Optical Profiler
超高性能
业界优先的速度、
精度和自动化
为高要求应用需求设计
全功能、快速测试
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特殊型号

除了标准轮廓仪机型,我们有应用了CSI技术的特殊机型,专为特定的应用需求设计:

Micro lenses and molds, spherical and aspherical
Compass™ – 微透镜的完整表征及其对齐特征。ZYGO的 Compass™系统针对球面或非球面镜片和模具提供全表面的、非接触式的3D表面面形和偏差测量,形貌测量以及偏芯/空间测量,具有亚纳米的精度,采集数百万个数据点。

Nomad portable optical profiler
Nomad™ – Nomad™ 便携式光学轮廓仪是测量表面过大的样品的理想解决方案。与其他光学轮廓仪相比,Nomad™便携式光学轮廓仪具有亚纳米测量精度,并且不依赖于视场放大倍数。

Packaging Metrology System for Panel-Based PCB's
APM650™ – 计量系统提供了自动化测量,适用于PCB板测量以及其他先进的组装应用领域。它提供了2D和3D测量模式,具有亚纳米垂直精度和亚微米横向精度。APM650系统具有大型X / Y平台,可以容纳面板尺寸达到650 X 650毫米。

轮廓仪物镜

安装在塔台上的光学轮廓仪物镜
安装在塔台上的光学轮廓仪物镜
光学轮廓仪的性能和测试能力在很大程度上取决于它所使用的物镜。物镜决定了放大倍数、工作距离、斜坡测试能力和视野范围,因此选择正确的物镜对于实现计量目标是非常重要的。

ZYGO提供广泛的物镜选择,并且物镜的选择会越来越多。所有ZYGO的物镜是ZYGO内部设计和制造,确保高质量的物镜适用于我们的光学轮廓仪。这种能力是ZYGO的特色之一。

ZYGO还提供长工作距离、大视野范围的特殊物镜、薄膜测试能力和透过透明层测试下表面的专用物镜。查看完整系列的物镜种类,可以下载物镜选择图表(PDF)。

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