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3D表面轮廓仪 ZeGage™ ZeGage™ Plus New! NewView 8000™ Nexview™ Nomad™ 3D表面轮廓仪主要应用


典型干涉仪配置

本页主要介绍常用的干涉仪测量配置,如需下载更多详细内容可以下载“干涉仪常用配置向导”。

平面测量
Graphic - GPI™ Setup for Plano Optic Measurement 平面测量装置用于测量反射平面镜、透镜和窗片。被测物体必须放在专用夹具上以便于对被测面进行倾斜调整,比如用ZYGO的两维调整架和自中心夹具放置和调整样品。


透射波阵面测量
Graphic - GPI™ Setup for Transmitted Wavefront Measurement 此装置用于测量透射平面波前畸变。 常用于对窗片、滤光片和透镜等的测量。另外,也可用于检测玻璃、透明材料的均匀性。测量光束通过被测样品,只需要将样品放在与光轴近似垂直的位置,不需要特殊的调整。


球面测量–凸面
Graphic - GPI™ Setup for Convex Surface Measurement 此装置用于凸面样品的面形测量。选择合适的球面标准镜必须满足如下条件:首先,被测凸球面的曲率半径必需小于球面标准镜的后焦距,其次,被测样品的曲率半径与通光孔径的比值(R/number)必须小于等于球面标准镜的F/number。三维调整架用来调节被测样品。


球面测量–凹面
Graphic - GPI™ Setup for Concave Surface Measurement 球面标准镜用于将干涉仪输出平面波变为球面波,用于对球面样品和透镜的测量。测量时,被测样品凹面的曲面中心必须与球面标准镜的焦点精确重合,使用GPI™的快速获得条纹系统可以只用几秒的时间调整好样品的位置。三维样品调整架用于调节被测样品。


透镜/光学系统质量测量
Graphic - GPI™ Setup for Lens/System Measurement 通过检测透射波前畸变可以检测透镜和光学系统质量,对于聚焦于无限远的透镜系统,测量时与干涉仪位置如图所示,需用一个高精度的凸球面或者凹球面将光束反射回干涉仪,通过转动被测透镜光轴,波束角的变化可以被检测。


透镜/光学系统质量测量–另一种方法
Graphic - GPI™ Setup for Lens/System Measurement 对于无限共轭的透镜或者光学系统,尤其对于大于干涉仪测量光束直径的透镜系统,可以用这种方法检测,如图所示。此方法对于样品的调整要求更高,可能会由于未准确校准而引入误差。


Photo - Setups Guide Handbook ZYGO典型干涉仪配置向导
16页的配置向导用简洁的图示和说明介绍了几种ZYGO干涉仪的最常用的配置,填写简单的申请表格就可以马上下载免费的PDF格式的配置向导。


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