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激光干涉仪 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  New! 干涉仪附件

特殊应用 Verifire™ MST Verifire™ XL 大口径激光干涉仪 波长拓展激光干涉仪 产品升级 典型干涉仪配置 MetroPro®软件介绍 抗振型激光干涉仪

3D表面轮廓仪 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView 9000™  New! Nexview™ NX2  New! Nomad™ 3D表面轮廓仪主要应用


大口径激光干涉仪

ZYGO大口径激光干涉仪系统是双通道测量系统,小口径4"测量通道和大口径测量通道均具有多种高精度测量模式,如相位调制、波长调制、动态测量等。大口径激光干涉仪从常规的4英寸口径拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口径激光干涉仪包括

• 激光干涉仪主机(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波长调制主机)

• MUX分光器(光束转换器)

• 扩束器(12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可选)

• 机械相位测量装置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波长调制测量技术

• 参考光束-透射平板和参考平板是光学系统必需的附件

• 调整架-用于调整参考光束和测试光束的位置

Large Aperture Interferometer System

大口径激光干涉仪系统组件可以与干涉仪主机分开购买,如果您需要系统测量和配置方面的具体信息请联系我们。

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