特殊应用 Verifire™ MST Verifire™ XL 大口径激光干涉仪 波长拓展激光干涉仪 产品升级 典型干涉仪配置 MetroPro®软件介绍 抗振型激光干涉仪
3D表面轮廓仪 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView 9000™ New! Nexview™ NX2 New! Nomad™ 3D表面轮廓仪主要应用
DynaFiz® 动态测量
关键特征:
• 在空气湍流和极端振动的环境下进行动态测量
• 优化的光学系统提供了清晰可见的中间空间频率特征
• LivePhase™ 软件可以进行实时Zernike分析 [见影像]
• Movie模式获取随时间变化的波前
• 高功率，长寿命稳频氦氖激光器
DynaFiz® 干涉仪的低噪声，高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。
DynaFiz® 干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。 LivePhase™ 获取能力提供了实时Zernike反馈为光学系统的光路对准进行追踪。这是一个电影形式，把一系列动态图像连接成电影提供光学系统随时间变化的过程。采用具有独特性能和无与伦比的多功能的ZYGO DynaFiz® 干涉仪将使你的计量得到最大的受益。只有从ZYGO你才能得到值得信赖的测量可靠性。
技术文件 
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