FlashPhase™

FlashPhase 是ZYGO在MetroPro™软件基础上推出的一套新型的数据采集方法，为ZYGO所制造的干涉仪能在非理想环境下（如大口径、长腔、加工现场）能提供相位测量。由于能够代替使用传统相移技术，所以FlashPhaseTM能从单一镜头光度来决定相位；此方法不仅缩短数据采集时间，而且有效消除环境噪音，数据采集能够让像PTI 250RS和PTI 250TM系统安装在生产上，同时提供全相位测量的能力。选择FlasePhaseTM可以免去昂贵的抗干扰硬件设备投入，使测量变得方便高效

测量不确定度	：	λ/20
RMS重复性	：	λ/2000
最小曝光时同	：	GPI XP／XPHR　 16.67ms GPI HS 1ms＠1XZoom Verifire AT 1ms＠1XZoom 用户可选择更短的曝光时间

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