3D表面轮廓仪 选择适合您的NewView™系统

	NewView™ 700 系列		NewView™ 7000 系列
型号:	700p	700s	7200	7300
核心技术:	Phase-Shifting 移相式干涉仪 (PSI)	白光扫描干涉仪 (SWLI)
垂直扫描速率:	n/a	≤ 15 μm/s	≤ 26 μm/s	≤ 135 μm/s
最大台阶高度:	~ 138 nm	~ 150 μm	~ 20000 μm
系统变焦:	固定		手动	自动
Z轴调整:	手动		自动
X/Y方向调整:	手动		手动或电动（可选）
视场:	≤ 3.5 mm		≤ 14 mm*
物镜塔台:	6工位手动或者自动
	* 大视场可以由拼接功能和改变CCD像素来实现。

NewView™ 7100 - NewView™7100白光干涉仪是高性价比非接触式表面轮廓仪，在高速扫描状态下纵向测量范围可以从小于1nm至20000µm，可以轻易获得各种面的形貌，包括粗糙度，平面度，倾斜度和台阶高度。

所有的3D表面轮廓仪都可以为您提供高速、非接触、三维定量的表面形貌测量。系统配置ZYGO综合测量软件包--MetroPro®可以提供三维和两维表面特性、实时显示以及应用处理选项。MetroPro®所提供的友好直观的人机交互界面包括自动控制、密码保护、统计数据库、可编程脚本、用户自定义界面、自行设置合格/不合格标准等。

3D表面轮廓仪主要应用

• 测量动态MEMS设备

• 薄膜分析应用

• 测量亚纳米表面形貌

• 机械加工中的应用