激光干涉仪

ZYGO非接触式菲索型激光干涉仪，是精密光学元件的表面面形和透射波阵面的检测的工业标准。结合功能强大的MetroPro®专利软件，ZYGO激光干涉仪系统操作简单，互动图形界面可在屏幕上同时提供仪器控制，平面面型模拟，测量数据的统计分析等。

3D表面轮廓仪

NewView™系列表面轮廓以其极高的精度和准确度定性且定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精确、高速、非接触、且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向测量范围可以从小于1nm至20000um，能够测量21.59Х21.85mm范围内的表面形貌，使用拼接技术可以测量更大范围，纵 向分辨率小于0.1nm。