VeriFire™系列

所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量，每种型号均具有特殊的应用，列于下表：

型号:	XP/D	PE	AT+	MST	Asphere
核心技术:	相移式干涉仪			傅立叶变换相移干涉仪	专利非球面算法相移干涉仪
光源:	点光源		点光源和Ring of Fire™环形光源（波纹抑制
变焦:	自动1-6X		数控1-5X
聚焦:	自动		数控步进聚焦
分辨率:	640×480像素		1000×1000像素
帧速:	75 Hz	210 Hz	43 Hz

VeriFire™ XP/D - 是高精度高重复性的相位调制激光干涉仪，具有640×480像素分辨率，ZYGO权威的MetroPro®软件进行数据处理和分析。

VeriFire™ PE - 是能够在轻微振动的生产环境中进行高精度测量的激光干涉仪。PE系统具有能够迅速获得数据的高速CCD。当振动较大时，PE可选用FlashPhase软件对一 幅瞬态测量的图像进行傅立叶变换分析得到面形信息，能够在生产环境中进行高精度测量。

VeriFire™ AT+ - 代表ZYGO最高精度的机械移相式激光干涉仪。AT+系统具有1000×1000像素CCD，ZYGO专利技术的Ring of Fire™光源进行波纹抑制，带数控的变焦和聚焦功能可以让由于不同使用者操作带来的误差降到最低。

VeriFire™ MST - 利用波长调试激光和专利数据采集技术能够同时测量透射元件的前后表面,可以不需要对样品进行特殊处理同时测量多个面。

VeriFire™ Asphere - 快速、非接触、高精度的非球面3D测量激光干涉仪，操作简单，自动校准、采集数据和分析。

Capability-Expanding Products

大口径激光干涉仪 - ZYGO大口径激光干涉仪系统是双通道测量系统，对大口径样品通过干涉条纹分析的方法测量，对小口径样品采取相位调制的方式测量

波长拓展激光干涉仪 - ZYGO有能力为多种多样特定需求的干涉测量提供完整的解决方案，如特定波长、特定口径、特定的图像放大、特定的软件分析 、特殊的增强性功能、特殊工装以及特殊的自动控制等。