GPI™系列
可应用于:
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
精密盘片质量检验
三平板绝对测量
双球面绝对测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
GPI™ XP/D-ZYGO激光干涉仪的国产化之路
为了回报广大中国客户对ZYGO激光干涉仪产品的厚爱,ZYGO公司将其应用最广泛、技术最成熟的经典产品--GPI™ XP/D型号激光干涉仪在翟柯莱姆达计量设备(上海)有限公司进行组装生产。
GPI™ XP/D激光干涉仪--运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。
GPI™ XP/D是ZYGO在中国甚至全世界市场占有率最高的一款激光干涉仪,广泛应用于科研教学和生产检测中。GPI™ XP/D主机为Fizeau型干涉仪,测量精度高且操作简单,采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件640Х480(可以升级为1024×1024),配合功能强大的MetroPro®软件可以获得高重复性和高精度的测量结果,其三平板绝对测量重复性优于λ/300,rms重复性优 于λ/10,000。并能模拟样品表面面形,并显示鲜明的,可旋转的3D彩色图像,可选的剖面图以及各种统计数字结果等。同时,针对特殊的样品、 特殊的测量需求,可以为用户设计定制特殊的测量系统,结合MetroPro®软件,为用户提供完美的技术解决方案并获得满意的测量结果。
GPI™ LC和GPI™ ST
为满足更多客户的需求,GPI™系列激光干涉仪中GPI™ LC 和GPI™ ST是不带移相,通过目测条纹分析的激光干涉仪,其中GPI™ LC是ZYGO最基础的激光干涉仪,用于平面样品的测量。GPI™ ST也是通过目测条纹分析激光干涉仪,具有6倍变焦和自动聚焦功能。
是ZYGO在MetroPro®软件基础上推出的一套新型的数据采集方法,为ZYGO激光干涉仪能在非理想环境下(如大口径、长腔、加工现场)提供相位测量。FlashPhaseTM能从单一镜头光度来决定相位 ,能够代替使用传统相移技术,此方法不仅缩短数据采集时间,而且有效消除环境噪音,能够让PTI 250系列和GPI™系列安装在生产线上使用。
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