激光干涉仪

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近几年，随着光学产品的快速发展，从航天、军事等高科技产品到数码相机、手机等大众消费产品，无不与光学息息相关，推动了光学研究和光学加工的快速发展，同时也促进了光学检测手段向更高要求的方向延伸，作为光学检测最经典的检测方式—干涉测量，也从古老走向现代。激光干 涉仪的发展就是一个最好的佐证。纵观ZYGO激光干涉仪的发展历程，不难看出，干涉测量已从泰曼型走向斐索型，从静态测量走向动态测量；从机械相移到波长调制；激光波长从单一波长发展到多种波长；激光干涉仪的口径从常规口径向超大口径和微小口径拓展；测量功能也从单一的面形测量扩展到像散、慧差、球差、折射率均匀性、角度、传递函数、平行差等多种测量功能。这一个个里程碑式的发展无不体现出ZYGO在光学测量技术道路上作为领跑者所迈出的划时代步伐。

ZYGO激光干涉仪，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形、曲率半径等的测量和分析。随着光学加工的不断发展，对检测提出了更高的要求，对于大平面检测，ZYGO激光干涉仪从常规的4英寸 和6英寸口径拓展到12英寸、18英寸、24英寸、32英寸 和36英寸，对于微小球面的检测，ZYGO激光干涉仪推出了口径为1英寸的PTI™ 250系列；为应对环境的干扰，推出了FlashPhase™快速数据采集系统、新型算法的VC功能软件和VeriFire™ PE新型激光干涉仪；VeriFire™ AT+型激光干涉仪的推出更是一种先进技术的体现，运用Ring of Fire光源技术，革命性的数据采集技术和高性能的成像技术，成为激光干涉仪先进技术的集中体现；而VeriFire™ MST型激光干涉仪则是突破了人们多年来对平行板测量的瓶颈，显示出ZYGO非凡的研发和创新能力；非球面是光学发展的新里程碑，非球面的检测也成为发展的必需，VeriFire™ Asphere融合了ZYGO代表当今世界最先进的激光位移定位技术和 Verifier AT+型激光干涉仪技术，成为非球面生产中最理想的产品测量解决方案。这一项项最具有革命性的技术无不体现出ZYGO在光学测量乐章中所奏出的时代最强音。

今天只有ZYGO ，才能提供如此功能齐全、最高精度的激光干涉测量技术和产品；只有ZYGO，才能引领激光干涉仪测量的发展；只有ZYGO，才能应对光学检测中一个又一个新的挑战。